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Matching Network
RF Generator
Matching Network
RF Accessories
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Matching Network
Matching Network (600W ~ 1.5kW)
4000+ Sales in the plasma market
- Broadband Detector 채택
- Stepping Motor , No Gear(내구성 향상 , 정확한 Capacitor 제어)
- Easy user interface (RS-232 , GUI Software)
- 유지보수 비용 절감
- 400kHz ~ 27.12Mhz 주파수
- 300W ~ 30kW 출력
- 고객사 맞춤 제작
첨부파일 테이블
제품 사양서 1
Specifications -iMat1310L-0104-S.pdf
제품 사양서 2
Specifications -iMat1330L-0304-S.pdf
제품 사양서 3
Specifications -iMat1340L-0704-S.pdf
첨부파일을 클릭하시면 다운받으실 수 있습니다!
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제품 카달로그
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견적문의
제품특징
제품사양
디지털 방식의 자동 정합 장치
- Step Motor System
- 자기 진단으로 캐패시터의 위치 및 오류 보정
사용자 중심의 소프트웨어
- LogicMAT Consol program
- 프리셋 모드는 모든 공정에 최적화
- load / tune 캐패시터의 각각의 설정 및 위치값을 제공
간단한 디자인
- 고객 요청에 의한 제작 가능
- 내구성이 있고 직관적인 디자인
- EMI 차폐를 위한 Honeycomb 구조의 필터 장착
- 모듈 설계로 인하여 관리 및 유지 보수가 쉬움
제품군
- 저주파부터 고주파까지의 다양한 주파수 매칭
- 600W에서 30kW까지의 다양한 제품군
- 고객 주문사양에 맞게 제작 가능
- RF와 DC의 동시 사용할 수 있는 하이브리드형 매칭박스 제공
화면을 좌, 우로 움직여 주세요.
iMat1310L
iMat1330L
iMat1340L
iMat1350L
iMat1375L
iMat13175L
Operating
frequencv
13.56MHz
Nominal
Power
600KW
1KW
1.5KW
3KW
5KW
10KW
Max.Power
Depends on the Load impedance
Max.load
Current
10A
30A
40A
50A
75A
175A
Cooling
Forced Air
Water Cooled
Input
Connector
N Type
HN or 7/16” DIN Type
Output
Connector
N or HN or 7/16” Din or Multi Contact Type
Customized or Multi Contact Type
Control
System
iMat LOGIC Control Software
Interfaces
RS232
Dimensions
(W x H x L)
370x280x130
(mm)
370x240x188
(mm)
520x550x305
(mm)
Weight
7kg
8.5kg
9kg
10kg
36kg
* 자세한 Frequency 는 문의 부탁드립니다.
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