(주)플라소스

Product

RF Select Switch는 하나 또는 다른 주파수 RF 발생기의 전력 공급과 플라즈마 발생하는 각각의 챔버에 선택적으로 전원을 제공하기 위한 전원 분배 장치이다.

- 주파수 : 400kHz ~ 60MHz

- 채널 : 최대 4채널
- 최대 파워 : 1~3kw
- 최대 전류 : 주파수에 따라 변동
- 인터페이스 : A/D 9핀
- 입력전원 : DC 24VDC
- 입력 컨넥터 : HN, 7/16"DIN
- 출력 컨넥터 : HN, 7/16"Din, Multi-Contact

※ 고객의 사양에 따라 선택 적용할 수 있습니다. (사용시 제품 문의 바람)