Product
Matching Network
Matching Network (3kW ~ 5kW)
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4000+ Sales in the plasma market
- Broadband Detector 채택
- Stepping Motor , No Gear(내구성 향상 , 정확한 Capacitor 제어)
- Easy user interface (RS-232 , GUI Software)
- 유지보수 비용 절감
- 400kHz ~ 27.12Mhz 주파수
- 300W ~ 30kW 출력
- 고객사 맞춤 제작
- Broadband Detector 채택
- Stepping Motor , No Gear(내구성 향상 , 정확한 Capacitor 제어)
- Easy user interface (RS-232 , GUI Software)
- 유지보수 비용 절감
- 400kHz ~ 27.12Mhz 주파수
- 300W ~ 30kW 출력
- 고객사 맞춤 제작
| 제품 사양서 1 | Specifications -iMat1350L-0914-S.pdf |
|---|---|
| 제품 사양서 2 | Specifications -iMat1375L-1014-S.pdf |
첨부파일을 클릭하시면 다운받으실 수 있습니다!디지털 방식의 자동 정합 장치
- Step Motor System
- 자기 진단으로 캐패시터의 위치 및 오류 보정
사용자 중심의 소프트웨어
- LogicMAT Consol program
- 프리셋 모드는 모든 공정에 최적화- load / tune 캐패시터의 각각의 설정 및 위치값을 제공
간단한 디자인
- 고객 요청에 의한 제작 가능
- 내구성이 있고 직관적인 디자인
- EMI 차폐를 위한 Honeycomb 구조의 필터 장착
- 모듈 설계로 인하여 관리 및 유지 보수가 쉬움
- 내구성이 있고 직관적인 디자인
- EMI 차폐를 위한 Honeycomb 구조의 필터 장착
- 모듈 설계로 인하여 관리 및 유지 보수가 쉬움
제품군
- 저주파부터 고주파까지의 다양한 주파수 매칭
- 600W에서 30kW까지의 다양한 제품군
- 고객 주문사양에 맞게 제작 가능
- RF와 DC의 동시 사용할 수 있는 하이브리드형 매칭박스 제공
- 600W에서 30kW까지의 다양한 제품군
- 고객 주문사양에 맞게 제작 가능
- RF와 DC의 동시 사용할 수 있는 하이브리드형 매칭박스 제공
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