Product
RF Generator
RF Generator (300w ~ 600w)
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3000+ Sales in the plasma market
- 고효율 LDMOS FET 사용 (내구성 향상 , Long life time)
- FPGA , MCU 제어 기술 적용 (High Accuracy)
- Easy user interface (Analog , RS-232)
- 유지보수 비용 절감
- 400kHz ~ 27.12Mhz 주파수
- 300W ~ 3kW 출력
- 고효율 LDMOS FET 사용 (내구성 향상 , Long life time)
- FPGA , MCU 제어 기술 적용 (High Accuracy)
- Easy user interface (Analog , RS-232)
- 유지보수 비용 절감
- 400kHz ~ 27.12Mhz 주파수
- 300W ~ 3kW 출력
| 제품 사양서 1 | Specifications -iGen1303N-R1.pdf |
|---|---|
| 제품 사양서 2 | Specifications -iGen1306N-R1.pdf |
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- 고효율의 LDMOS 사용
- 고속 정밀 DSP 제어 기술 적용
- 안정적인 출력
- 부하 급변화에 대한 빠른 대응
- 고속 정밀 DSP 제어 기술 적용
- 안정적인 출력
- 부하 급변화에 대한 빠른 대응
장점
- 편리한 인터페이스
- 출력 효율의 증가- 유지 보수 및 수리에 대한 비용 절감
응용
- 산화물 또는 금속류의 식각
- 반응성 스퍼터링- 대기압 플라즈마
- 반응성 이온 식각
- 의료용 고주파 가열
- 고주파 유도 가열
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