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RF Generator

RF Generator (2Kw ~ 3Kw)
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RF Generator (2Kw ~ 3Kw)

3000+ Sales in the plasma market

- 고효율 LDMOS FET 사용 (내구성 향상 , Long life time)
- FPGA , MCU 제어 기술 적용 (High Accuracy)
- Easy user interface (Analog , RS-232)
- 유지보수 비용 절감
- 400kHz ~ 27.12Mhz 주파수
- 300W ~ 3kW 출력
첨부파일 테이블
제품 사양서 1 file2 Specifications -iGen1320N-R1.pdf
제품 사양서 2 file3 Specifications -iGen1330N-R1.pdf
file2  첨부파일을 클릭하시면 다운받으실 수 있습니다!

화면 캡처 2024-04-01 140430.png

특징
- 고효율의 LDMOS 사용
- 고속 정밀 DSP 제어 기술 적용
- 안정적인 출력
- 부하 급변화에 대한 빠른 대응

 

장점

- 편리한 인터페이스

- 출력 효율의 증가
- 유지 보수 및 수리에 대한 비용 절감

 

응용

- 산화물 또는 금속류의 식각

- 반응성 스퍼터링
- 대기압 플라즈마
- 반응성 이온 식각
- 의료용 고주파 가열
- 고주파 유도 가열

 


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