Product
Special Components
제품특징
주요 장점
- 공정 특성에 맞춤 제작
- 공랭식이며, 습기 또는 결로 현상의 따른 문제가 없음
- 주위 온도가 최대 40°C 이내에서 최대 출력 사용 가능
- 전면 패널 설치로 실시간 모니터링 가능
- 높은 효율 > 90%
- 소형 및 경량화 구현
- 공랭식이며, 습기 또는 결로 현상의 따른 문제가 없음
- 주위 온도가 최대 40°C 이내에서 최대 출력 사용 가능
- 전면 패널 설치로 실시간 모니터링 가능
- 높은 효율 > 90%
- 소형 및 경량화 구현
응용 분야
- Plasma treatment
- Cleaning
- Coating
- Cleaning
- Coating
특징
BDS-MF10K는 40kHz를 사용하는 AC 플라즈마 전원 장치입니다.
2500 ~ 5000V의 출력 전압 사용이 가능하며, 600~2500Ohm 임피던스 수준에서 출력을 사용할 수 있습니다.
이 제품은 두 개의 전극을 사용하는 대형 챔버 PECVD 시스템에 맞춤 설계되어 있습니다.
통상적으로 2개의 공정에서 사용합니다.
- 플라즈마 전압이 2500 ~ 3500V에서 아르곤 또는 산소 가스를 사용하여 플라즈마 세정 처리를 하는 공정에서 사용합니다.
- HMDSO 가스를 사용하여 증착하는 공정에서 사용하며, 때때로 아르곤 또는 산소가스를 섞어 쓰기도 합니다.
HMDSO 가스는 일반적으로 저항값이 높기 때문에 3500 ~ 5000V 의 전압을 사용합니다.
2500 ~ 5000V의 출력 전압 사용이 가능하며, 600~2500Ohm 임피던스 수준에서 출력을 사용할 수 있습니다.
이 제품은 두 개의 전극을 사용하는 대형 챔버 PECVD 시스템에 맞춤 설계되어 있습니다.
통상적으로 2개의 공정에서 사용합니다.
- 플라즈마 전압이 2500 ~ 3500V에서 아르곤 또는 산소 가스를 사용하여 플라즈마 세정 처리를 하는 공정에서 사용합니다.
- HMDSO 가스를 사용하여 증착하는 공정에서 사용하며, 때때로 아르곤 또는 산소가스를 섞어 쓰기도 합니다.
HMDSO 가스는 일반적으로 저항값이 높기 때문에 3500 ~ 5000V 의 전압을 사용합니다.
